超音波振動加工

超音波振動加工


超音波振動加工でお探しの方へ。砥粒で材料を砕く超音波加工は、工具の超音波振動(工具長手方向の振動)と砥粒及び加工圧を併用して微量ずつ破砕していく加工法です。すなわち加工形状と雄雌対称の断面形状を持つ工具に、振動周波数を16~25kHz(16,000~25,000回/秒)、振幅振動を30ミクロン以上の振動を与えシリコンカーバイト、ボロンカーバイトなどの砥粒を懸濁液状で注ぎながら適当な加工圧で工具を加工物に押し付けます。

超音波振動加工

工具と加工物の間に入った砥粒粒子は、工具先端で大きな衝撃を受け、その衝撃で加工物を少しずつ砕いていきます。1回の衝撃で破砕される量はごくわずかですが、前記のように繰り返し回数が多いので実用上十分な速さと精度で工具先端面形状が加工物に彫り込まれていきます。

■超音波加工のと特徴

~加工材料~

超音波加工の材料としては、ガラス、石英硝子、シリコン、フェライト、カーボン、グラファイト、アルミナ、窒化けい素、炭化けい素、窒化ほう素、ジルコニア、ルビー、サファイア各種宝石 ダイヤモンド等の硬脆材料があります。

~加工内容~

加工内容としては、円、角、異形の孔あけ、ザグリ、打ち抜き、切断、ミゾ加工、成型加工、彫刻、研磨などがあります。

~多数個同時加工~

上下振動による破砕加工のため、複数個同時加工が出来ます。
例1:アルミナ基盤 50□ 0.5φ~2.0φ
孔数100個を同時加工
例2:シリコンウェハー 50φから1.8φの素子を
600個以上打ち抜き

~加工面~
カケ、バリ、クラックの発生が極めて少なく、且つ砥粒加工特有の平滑な加工面が得られます。また加工による変質層、加工歪が少ない。

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超音波振動加工でお探しの方も参考にしてみて下さい。

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